Solução de sensor para controle de processo de moagem posterior de wafer

O desbaste de wafer é sempre um processo crítico. Os chips já estão presentes no wafer e qualquer falha no processo afeta o rendimento e os custos de produção. O controle em linha rígido na operação de desbaste em processo é possível usando medidores de contato ou sensores sem contato, mesmo na presença de água desionizada. Os sensores Marposs auxiliam na obtenção de uma espessura final repetitiva do wafer.

A operação de desbaste é geralmente realizada em duas etapas: desbaste e desbaste. O primeiro é usado para remover a maior parte da quantidade de silício durante a operação de acabamento, apenas uma pequena quantidade é removida até que a espessura final desejada, normalmente inferior a 100µm, seja alcançada. O medidor de contato Marposs controla a fase de diluição grosseira e, devido ao seu design robusto, pode sobreviver em água desionizada sem adicionar contaminantes indesejados que podem ser perigosos para o wafer.

O mesmo vale para a série Marposs de medidores sem contato que são particularmente úteis na fase de acabamento, onde deve-se tomar cuidado especial para não danificar o wafer. A medição sem contato não é fácil dentro do ambiente sujo e úmido de uma retífica retrátil, no entanto, devido ao medidor Marposs, isso é possível, quase independentemente da rugosidade do wafer e do tipo de material a ser diluído.

Além de garantir que os níveis de produtividade sejam alcançados, é crucial manter o equipamento de produção em serviço por meio de alarmes 'preventivos' usando produtos Marposs Machine Monitoring. É possível monitorar a retificação do rebolo e outras vibrações na máquina para garantir que ela esteja operando corretamente.

A detecção precoce de problemas mecânicos é essencial para manter as vibrações da máquina e do fuso sob controle, reduzindo os custos consequentes, melhorando a qualidade e a eficiência. Isso pode ser obtido por meio da avaliação precisa dos sinais do sensor (vibração, temperatura e gravidade opcional). Os limites de alarme podem ser definidos individualmente e, se exceder ou cair abaixo desses limites, uma reação definida pode ser tomada imediatamente.

A Marposs oferece um portfólio completo de produtos que ajuda a manter sob controle as máquinas que trabalham com materiais semicondutores.

Para mais informações: https://www.marposs.com/eng/

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